Международная конференция «Микро- и наноэлектроника – 2016»
Информационное сообщение
Международная конференция "Микро- и наноэлектроника – 2016" (ICMNE-2016), включающая расширенную сессию "Квантовая информатика – 2016" (QI-2016), будет проводиться с 3 по 7 октября 2016 г. в д/о "Ершово", Звенигород, Московская обл. Она продолжает серию Всероссийских конференций "MНE-1999", "MНE-2001", "КИ-2002" и международных конференций "ICMNE-2003", "QI-2004", "ICMNE-2005", "QI-2005", "ICMNE-2007", "QI-2007", "ICMNE-2009", "QI-2009", "ICMNE-2012", "QI-2012", "ICMNE-2014", "QI-2014".
Конференция охватывает большинство областей физики микро- и наноразмерных приборов, а также микро- и наноэлектронных технологий. ICMNE-2016 будет сконцентрирована на освещении последних достижений в этой сфере.
В рамках конференции будет проводиться выставка диагностического и технологического оборудования для микроэлектроники.
Рабочий язык конференции ICMNE-2016 - английский.
Тематика:
Материалы и пленки для микро- и наноэлектронных структур:
- Si, SOI, DOI, SiGe, A3B5, A2B6
- High-k диэлектрики, low-k диэлектрики
- Металлы для затворов, контактов и систем металлизации наноразмерных приборов
- Магнитные материалы, наномагнетики
- 1D и 2D материалы
- Материалы для оптоэлектроники, солнечной энергетики, метаматериалы
Технологии микро- и наноэлектроники, технологическое оборудование:
- Суб-100 нм литография: DUV, EUV, электронная и ионная литография, наноимпринт
- Плазменные и ионно-пучковые процессы и технологии для микро- и наноэлектроники
- Ионная имплантация: пучковая и плазменно-иммерсионная
- Процессы CVD, молекулярная эпитаксия
Метрология:
- In situ методы мониторинга технологических процессов
- Методы контроля, диагностики и характеризация микро- и наноструктур
Физика и технология микро- и наноразмерных приборов:
- Тенденции масштабирования: More Moore, beyond CMOS, and more than Moore trends
- Нанотранзисторы: CMOS FET, TFET, SET, молекулярные и другие
- Интегральные устройства памяти, DRAM, ReRAM, FeRAM
- Приборы оптоэлектроники, фотоники
- Сверхпроводящие микро- и наноприборы и устройства
- Приборы оптоэлектроники, фотоники
- Микро- и наноэлектромеханические системы (MEMS, NEMS)
- Моделирование
Технологии и перспективное технологическое оборудование для приборов микро- и наноэлектроники:
- Суб-65 нм литография: DUV, иммерсионная, EUV, электронная и ионная литография, наноимпринт
- Front-End of Line (FEOL) процессы для технологии УБИС
- Back-End of Line (BEOL) процессы для технологии УБИС
- Технологии получения 2D материалов (графен, MoS2, WS2 и другие)
- Технологии создания МЭМС и НЭМС
- Технологии создания сверхпроводящих приборов
Квантовая информатика:
- Квантовые компьютеры: теория и эксперимент
- Квантовые измерения
- Квантовые алгоритмы
- Квантовая связь
Оргкомитет ICMNE-2016 приветствует доклады, присланные от академического сообщества, университетов, промышленности. Программный комитет будет оказывать предпочтение докладам, содержащим результаты последних оригинальных исследований, соответствующих тематике конференции. Тезисы доклада и полные тексты для публикации в SPIE должны быть написаны ясным и лаконичным английским языком.
Файлы тезисов докладов на ICMNE-2016 направлять по адресу icmne2016@gmail.com.
Последний срок отправки тезисов 1 августа 2016.